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电加热装置高频溅射装置存在问题简介

时间:2021-04-26 16:43来源:未知 作者:admin 点击:
  电加热装置高频溅射装置存在问题简介
  1.体枳稍大,外形不够笼观。
  2.阳极电源的和灯丝电源的稳压系统都采用了按颊串联则设计的链式触发器,而可不受外电海电压的波动和波形变化的影响,并能使三相始终保持平衡。但电源频率的变化有可能影响稳压系统的工作。实践证明,一般电网的电压变化远较其频率变化激烈,因此,按频率原则设计的触发器运行效果较好,本设备经过二年多的连续运行效果良好。
  3.灯丝稳压系统采用有效值反馈方式是先进的,但由于光电二极管的温度特性不佳,不利于稳压精度的提高,为此,必须严格挑选光电二极管,给维修工作造成困难。
(责任编辑:admin)
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