城程电加热装置无附加线圈的回路简介
就是目前半导体工业中,应用最普遍的1-5兆赫振荡器的典型电路。
由于颊率较高,工作线圈虽然匝数不多,但其感抗已足够大,不再需要附加线圈。
反馈信号是用高颊空芯变压器的形式取得,调节L9和La。的相对位置,也即调节和的耦合,可以平滑地调节反馈信号,从而控制自激振荡器的工作状态,使之具有高的效率,大的输出功率。
电路中各元件,除了下面几个外,其他元件的作用和具有附加线圈的单回路振落器中各元件是一样的。
是阳极防寄生电感,它让工作频率电流和阳极电流直流分鲎顺利地通过,而阻止高子工作频率的电流通过。
及#是阳极防寄生电阻,它把高于工作频率的电流能量消耗掉,以防止寄生振荡。
为阴极串接保护电阻,它的作用是限制电子管的阳极电流,防止电子管因阳极电流过大而损坏。因为有些电子管(如在振孫停止时,阳极电流急激增大,阳极损耗大大超过其允许值,在短时间内就足以烧坏管子,为此,在阴极接入适当的电阻Rc是必要的。
还有一点值得说明一下,一般硅外延炉或其他化合物半导体的外延炉,要求加热区较长,常在300-400毫米以上,允许工作线圈的匝数较多,负栽和线圈间的耦合也较松弛,因此,工作线圈本身的电感量较大,有些单位就采用图2—2所示的线路组成300-500千赫的振荡器。
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